冷阴极离子镀TiN薄膜的空蚀磨损特性研究

摘要：

采用自制磁致伸缩式空蚀磨损试验机考察了冷阴极离子镀TiN薄膜的空蚀磨损性能,分析了TiN镀层的空蚀磨损过程及机理,探讨了TiN镀层硬度和厚度对其空蚀磨损性能的影响.结果表明:TiN镀层具有优异的抗空蚀磨损性能;其空蚀磨损过程可以划分为孕育、镀层磨损、混合磨损及基体磨损等4个阶段;空蚀磨损从软质点开始,软质点剥落形成凹坑,凹坑边缘发生剥落或断裂;TiN镀层的抗空蚀磨损性能随其硬度和厚度增加而提高.

关键词：离子镀、TiN薄膜、空蚀磨损性能、空蚀磨损机理

所属期刊栏目：24

分类号：TQ153.2;TH117.3

在线出版日期：2004-09-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：322-325