氮化钛沉积膜的摩擦性能研究

摘要：

采用等离子电弧沉积法在9Cr18钢表面制备了厚约0.5μm的TiN薄膜,通过显微硬度测试以及纳米压痕和纳米划痕试验,对比考察了9Cr18钢及其表面TiN薄膜的机械和摩擦性能.结果表明,9Cr18钢及其表面TiN沉积膜的纳米硬度分别为8 GPa和38 GPa,弹性模量分别为250 GPa和580 GPa,9Cr18、TiN和有机薄膜的摩擦系数分别为0.40、0.12和0.10;TiN沉积膜可显著提高基体钢的承载和耐磨能力.

关键词：氮化钛薄膜、显微硬度、纳米压痕、纳米划痕、摩擦性能

所属期刊栏目：23

分类号：TG174.444;O484(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金10242001,10172086;中国科学院知识创新工程项目KJCX2-SW-L2,KGCX1-11

在线出版日期：2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：367-370