10.3321/j.issn:1004-0595.2000.03.019
磁控溅射TiN界面结合强度的压痕法测试
在试验的基础上提出了测量TiN涂层界面结合强度的弹塑性赫兹接触应力经验修正公式,作为应用实例测量了不同基体表面粗糙度对磁控溅射沉积的TiN涂层界面结合强度的影响.将测量结果与其它测量方法所得结果进行了比较,证明提出的方法切实可行.
TiN、结合强度、赫兹接触
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TG113.25(金属学与热处理)
机械工业部科技发展基金95JA0502;国家重点实验室基金9708
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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