二氧化钛薄膜材料的制备及其摩擦学研究

摘要：

利用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了单层及双层TiO2薄膜材料.分析结果表明所制薄膜主要由非晶TiO2纳米颗粒组成.单层及双层TiO2与钢球及Si3N4陶瓷球对摩在轻载荷 (3N)下具有良好的减摩与抗磨性能,与钢球对摩时失效循环次数分别为376和1 856,与陶瓷球对摩时失效循环次数分别为2 280和2 343.玻璃基片主要发生脆性断裂及严重的磨粒磨损;TiO2薄膜则发生塑性变形及轻微磨粒磨损.

关键词：溶胶-凝胶法、TiO2薄膜、摩擦磨损

所属期刊栏目：19

分类号：O484.4;TG115.5+8(固体物理学)

资助基金：中国科学院资助项目59735110;59702001;国家杰出青年科学基金59825116;国家攀登计划95-预-07

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：166-168