载气对气相沉积BN膜的形成及摩擦学性能的影响研究

摘要：

以Ar+10%H2(体积分数计)、H2及N2为载气,采用射频PCVD技术在40Cr钢表面制备了BN膜;对沉积BN膜进行了FTIR、TEM和SEM等分析;并对不同载气下膜与基体的结合力、膜层残余应力、硬度及耐磨性进行了比较.结果表明,BN膜中c-BN含量分别为58.1%、27.7%和27.4%, 膜厚分别为4.6 μm、2.0 μ m和3.3 μm.

关键词：c-BN膜、PCVD、载气、摩擦学性能

所属期刊栏目：19

分类号：O484;TG11(固体物理学)

资助基金：国家科技攻关项目7150080060

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：117-121