基于衬底集成空心波导的气体检测性能研究

摘要：

由衬底集成空心波导(iHWG)与傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)结合组成的气体检测系统具有体积小、响应快、光路设计灵活、机械稳定性好等优点,能够用于污染气体实时在线检测.iHWG的几何参数如波导长度、横截面宽度和波导形状很大程度上影响了FTIR-iHWG系统的检测性能.基于空心波导的传输理论,理论分析了不同几何参数对iHWG传输特性的影响.以体积比浓度为100×10-6 的NO2气体作为样本气体,设计了四种不同几何参数的iHWG,实验验证了理论分析的正确性.结果表明,同等条件下,横截面宽度越大的波导,其系统检测性能越高;对于不同形状的 iHWG,直线型iHWG系统检测性能更好.此研究结果将为 iHWG的进一步优化设计提供借鉴.

关键词：波导光学、傅里叶变换红外光谱、衬底集成空心波导、气体检测、几何参数

所属期刊栏目：40

分类号：O657.33(分析化学)

在线出版日期：2023-10-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：798-806