太赫兹近场显微技术研究进展

摘要：

太赫兹是电磁频谱上还未被完全开发利用的频段,但太赫兹谱学成像技术在材料科学和器件测试等方面已展现出重要应用价值.然而受远场衍射极限限制,该频段难以聚焦于纳米、原子尺度的新材料和微纳器件中,极大阻碍了太赫兹科学的发展与技术应用.为提高成像分辨率,使其成为材料科学等交叉领域强大的研究工具,近年诞生了太赫兹耦合的近场显微技术,实现了纳米到埃米量级的空间分辨.本文综述了太赫兹耦合的近场显微技术,包括扫描近场显微镜和扫描隧道显微镜各自的发展历程和应用实例,并探讨了太赫兹近场显微技术的未来机遇和挑战.

关键词：近场显微技术、太赫兹、原子力显微镜、扫描隧道显微镜

所属期刊栏目：40

分类号：O433(光学)

资助基金：国家自然科学基金61905007

在线出版日期：2023-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共24页

页码：193-216