准分子激光微加工应用研究进展

摘要：

准分子激光加工技术基于光化学机制.准分子激光具有波长短、重复频率高、单脉冲能量大、输出光斑大且能量分布均匀等特点,在精准和高效微加工领域有着独特的优势.准分子激光微加工可以减小热影响区(Heat affected zone,HAZ),有效避免产生裂纹等缺陷,在材料精细加工领域有很好的应用前景.介绍了准分子激光微加工的研究进展,及准分子激光微加工应用于微电子集成电路封装、微机电系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)材料加工和生物医疗等领域的研究结果,总结了准分子激光微加工技术的发展趋势.

关键词：激光技术、准分子激光微加工、集成芯片3D封装、微机电系统材料微加工

所属期刊栏目：35

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2018-12-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：641-648