基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统研究

摘要：

针对准分子激光器温度控制系统的大时间滞后特点,利用MATLAB对准分子激光器温度控制系统进行模型辨识,设计了一种新型Smith-PID预估复合控制器.在此基础上分别对两种控制器进行仿真和实验.结果表明与常规PID控制器相比,Smith-PID预估复合控制器超调量减少41％,调节时间减少51％.所设计控制器具有稳健性强、超调量小及调节时间短等优点,可为准分子激光器的运行提供良好的温度控制环境.

关键词：激光技术、温度控制、Smith预估补偿、准分子激光器

所属期刊栏目：35

分类号：TN248;TP273(光电子技术、激光技术)

资助基金：National Science and Technology Major Project NO.Two国家科技重大专项02专项,2013ZX02202

在线出版日期：2018-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：533-538