Φ4m口径凹抛物面镜折反零位补偿检验

摘要：

折反射式零位补偿检验是一种综合了Offner折射式和Maksutov反射式补偿检验优点的凹非球面检验方法,补偿能力强,检测光路紧凑.大口径和大相对孔径非球面检验是制约其加工质量提高的难题,针对口径为4m、偏心率为1、顶点曲率半径为16 m的大口径凹抛物面反射镜,设计了折反射式零位补偿器.基于三级像差理论对补偿器的初始结构进行了规划和计算,采用Zemax软件对初始结构参数进行了优化,得出了补偿器的最终结构,检验光路轴向尺寸约12 m,系统优化后剩余波相差为0.005λ.设计和仿真结果表明,这种折反射式零位补偿器对大口径凹菲球面镜的加工检测是非常有利的.

关键词：几何光学、大口径非球面检验、折反射式零位补偿检验、三级像差理论、光学系统设计

所属期刊栏目：34

分类号：O435(光学)

资助基金：Major State Basic Research Development Program of China国家重点基础研究发展计划,2011CB013206

在线出版日期：2017-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：394-399