10.3969/j.issn.1007-5461.2016.03.006
通过优化工作气体分压提高准分子激光器脉冲能量输出
分别研究了Ne、F2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响.理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程中的碰撞过程,并对Ne与其他种类缓冲气体进行了对比分析.F2分压对脉冲能量输出的影响非常明显.工作气体中Kr参与的三体碰撞过程占主导地位,激光脉冲能量输出与Kr分压呈二次函数关系.当充电电压为28.7 kV,在最优化工作气体分压(F2∶He∶Kr∶Ne=0.315∶5.985∶19.5∶305 kpa)下获得的最大单脉冲输出能量为807 mJ,全电效率为1.64%.
激光技术、KrF准分子激光器、气体分压优化、气体混合物、缓冲气体
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TN248(光电子技术、激光技术)
Supported by National Natural Science Foundation of China国家自然科学基金,61205138
2016-06-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
296-300