非球面面形精细重构方法研究

摘要：

针对非球面反射镜在抛光初期干涉仪不能全口径检测面形误差的问题,提出一种三坐标测量机(CMM)和数字干涉仪组合测量以实现全口径波前复原的方法.将CMM与干涉仪测量数据组合,即面形误差以干涉测量为主,干涉检测不能复原的局部波前采用CMM测量数据进行精细重构,从而获得可用于数字化加工的全口径面形误差,并最终达到非球面镜全口径干涉检测.采用该方法对Φ为540 mm的离轴非球面反射镜在精磨后期进行数据组合补偿,成功实现了反射镜从精磨阶段到抛光阶段的全口径波前检测,从而证明了该方法对实现非球面镜全口径检测有效可行.

关键词：光学检测、波前复原、三坐标测量机、离轴非球面

所属期刊栏目：33

分类号：O435;TQ171.6(光学)

资助基金：Supported by National Program on Key Basic Research Project国家重点基础研究发展计划, 2011CB013206

在线出版日期：2016-03-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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