应用于快速倾斜镜的压电陶瓷驱动电源

摘要：

压电陶瓷致动器具有体积小、推力大、高频响和分辨率高等特点,广泛应用于精密制造、光学仪器、振动控制等领域.为提高压电陶瓷型快速倾斜镜的控制精度和稳定性,根据压电陶瓷致动器对其驱动电源的要求,设计了一种基于高压运算放大器PA96的驱动电源.介绍了该电源电路的基本原理,并对放大器的外围电路进行了稳定性设计.最后通过实验测试表明,该电源线性度大于99％、静态纹波小于10 mV、动态性能稳定,能够达到自适应光学系统中快速倾斜镜的控制要求.

关键词：自适应光学、快速倾斜镜、压电陶瓷、高压运算放大器、驱动电源

所属期刊栏目：32

分类号：O439(光学)

资助基金：脉冲功率激光技术国家重点实验室开放基金项目SKL2013KF01

在线出版日期：2015-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：235-240