10.3969/j.issn.1007-5461.2014.05.002
凸非球面辅助面的背向零位检验分析
在现代光学检测中,凸非球面的检测一直是一个难点.辅助面的背向零位检测方法,从三级像差理论出发,通过计算非球面的法距差,来探讨辅助面对凸非球面法距差的补偿校正能力.这种检验方法可用于偏心率-1/n2<e2<1/n2的凸非球面.辅助面有两个作用,其一为将实体非球面的球心引入到空气中;其二则为辅助面与凸非球面的组合可以补偿凸非球面的法距差.通过理论分析与Zemax编程计算得出当-0.5<e2<0.5时非球面的RMS值均优于λ/30.在工程实际应用中,通过此方法检测的凸非球面波前误差优于λ/100.可以得出辅助面对凸非球面的法距差具有一定的补偿能力这一结论.
几何光学、辅助面补偿、凸非球面检测
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O435(光学)
国家重点基础研究发展计划资助2011CB013206
2014-10-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
520-524