10.3969/j.issn.1007-5461.2009.01.007
脉冲升压式准分子激光电源研究
针对光刻用准分子激光器的激励技术,利用拉普拉斯变换方程对脉冲变压器高压充电过程进行了分析,验证了耦合系数于与压缩高压充电时间的重要作用.耦合系数越接近于1,高压充电时间越短.介绍了充电电路与磁开关结合后完成快放电的过程,并提出了一种控制谐振充电的方法.实现了对高压电容50μs内的快充电.
激光技术、脉冲升压式电源、拉普拉斯变换、高重复率、光刻
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TN245(光电子技术、激光技术)
2009-04-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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