基于类金刚石沉积的短脉宽XeCl激光设计及脉宽分析

摘要：

在气体配比HCl:Xe:He=0.12%:1%:98.88%实现了大功率短脉冲XeCl准分子激光器,以纳米异质结构、微观量子阱、表面微小尺度薄膜沉积,镀制金刚石薄膜、半导体薄膜、巨磁薄膜,及外延生长及后续的光刻、激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的,设计了高能量、短脉宽脉冲放电激励的XeCl准分子激光器新型结构,完成了脉冲波形测试.试验结果表明:激光脉宽最短13 ns,单脉冲能量450 mJ,矩形光斑大小2 cm×1 cm,束散角3 mrad,最高重复频率5 Hz.验证了激光器结构、动力学速率方程、总结出了饱和增益、脉宽规律.产生的短脉宽激光热融蚀效应小,类金钢石材料对基底形成了良好的等离子溅射羽辉.

关键词：激光技术、XeCl激光、纳秒放电、脉冲激光沉积技术、预电离、辉光放电

所属期刊栏目：21

分类号：TN242(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金60171043;陕西省自然科学基金2001C21;西安交通大学校科研和教改项目xjj2004000

在线出版日期：2004-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：601-605