微波等离子体环境下木材表面蚀刻

摘要：

微波等离子体处理木材表面时引起蚀刻,蚀刻程度的大小与离子能量水平,即与等离子体工作条件和等离子体种类密切相关.本文讨论了微波等离子体工作条件即微波功率、系统压力、样品位置(距谐振腔距离)及处理时间对杉木木材蚀刻的影响,并在相同工作条件下,比较了N2、O2及空气等离子体对木材蚀刻程度的影响.结果表明:在影响蚀刻作用的诸因素中,样品位置的影响最显著,处理时间、微波功率其次,而系统压力的影响最弱.在本研究的范围内,杉木样品距谐振腔距离越近、等离子体处理时间越长、微波功率越高则蚀刻越严重;在3种等离子体中,O2等离子体蚀刻最严重,而N2等离子体最轻微,空气等离子体蚀刻介于两者之间.

关键词：微波等离子体、蚀刻、杉木、影响因素

分类号：S7(林业)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：95-99