基于白光外差原理与相移光栅的相位展开技术研究

摘要：

介绍了白光外差原理与光栅相移技术相结合的相位主值计算与相位展开方法,给出了实验测量效果和测量精度.为实现系统尺寸精度的测量设计了专用检测评定仪器,利用该仪器得到了系统的测量精度指标.

关键词：白光外差、相移光栅、相位展开、三维测量

所属期刊栏目：47

分类号：TH166

资助基金：黑龙江省自然科学基金面上项目LC201428;黑龙江省教育厅科学技术研究面上项目12531511

在线出版日期：2019-03-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：46-50