原子力显微镜形貌测量偏差的机理分析及修正方法

摘要：

采用原子力显微镜测量样品表面形貌时,针尖与样品间的相互作用力会使样品表面不同力学性质的区域变形量不同,从而使得形貌测量结果产生偏差.首先研究了引起形貌测量偏差的机理,进一步通过数值计算发现通过引入高频信号与低频信号叠加作为新的形貌测量信号可以近似避免这一类形貌测量偏差.但是对于普通的矩形截面悬臂梁提取高阶信号是比较困难的,通过外加弹簧的结构设计来调节悬臂梁各阶本征频率相对值,使得在实验测量过程中可以较方便地提取悬臂梁振动的高频信号.

关键词：AFM、形貌测量偏差、高频信号、结构设计、各阶本征频率相对值

所属期刊栏目：43

分类号：TH742.9(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金10932011

在线出版日期：2011-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：112-121