静电微电机微转子接触动力学特性分析

摘要：

提出静电微电机中转子和固定轴承间相互接触的数学模型,对微尺度下的接触应力和应变特性进行理论推导,分析静电微电机几何参数、静电力、材料特性及加载电压对接触宽度、应力和应变特性的影响,对比研究不同工况下接触宽度、接触应力和应变的变化,并就相同的问题进行有限元分析,探讨摩擦系数对接触区vonMises应力、应变和接触压力的影响,结果表明有限元模拟所得接触应力和应变分布与数学模型的解析值较为相似.

关键词：微机电系统、微电机、接触、静电力

所属期刊栏目：37

分类号：TP202;TH117.2(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金10325209

在线出版日期：2006-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：756-763