Fracture mechanics analysis on Smart-Cut(R) technology. Part 1: Effects of stiffening wafer and defect interaction

机标关键词：Smart-Cut、mechanics analysis、Fracture、singular integral equation、stress intensity factors、interaction、integral transform、numerical results、internal pressure、fracture、technology、required、in order、examine、SOI、energy、Cauchy、plays、paper、high

所属期刊栏目：25

分类号：O3(力学)

资助基金：the Australian Research Council ARC;国家自然科学基金10525210;10732050;国家重点基础研究发展规划973计划2004CB619303;BG, HYL, and YWM are, respectively, Postdoctoral Fellow, Research Fellow;the ARC and tenable at the University of Sydney

在线出版日期：2009-04-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：73-81