An electron moiré method for a common SEM

机标关键词：control device、scanning electron microscope、microscopic analysis、material science、beam scanning、high quality、used in

所属期刊栏目：22

分类号：O3(力学)

资助基金：国家自然科学基金10662005;JSPS fellowship in Japan

在线出版日期：2007-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：595-602