NUMERICAL ANALYSIS OF THEORETICAL MODEL OF THE RF MEMS SWITCHES
RF MEMS SWITCHES、microelectromechanical systems、quantitative relationship、semianalytical method、relative importance、geometry parameters、governing equation、RF MEMS switches、residual stress、fringing field
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TH11
国家自然科学基金;中国科学院资助项目;RGC/NSFC联合研究项目N-HKUST 601/01;中国科学院联合实验室基金
2007-07-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共7页
178-184