MEMS材料力学性能的测试技术

摘要：

微电子机械系统(MEMS)技术的迅速崛起,推动了所用材料微尺度力学性能测试技术的发展.首先按作用方式将实验分成压痕/划痕、弯曲、拉伸、扭转四大类,系统介绍检测MEMS材料微尺度力学性能的微型试样、测试方法及其实验结果.测试材料主要有硅、氧化硅、氮化硅和一些金属.实验结果主要包括基本的力学性能参数如弹性模量、残余应力、屈服强度、断裂强度和疲劳强度等.最后,简要分析了未来的发展需求.

关键词：微电子机械系统、力学性能、纳米压痕/划痕、弯曲、拉伸、扭转

所属期刊栏目：32

分类号：TB3(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金10102021,10172086;中国科学院知识创新工程项目KJCX2-SW-L2,SYLXSO9;香港科技大学校科研和教改项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共18页

页码：545-562