考虑应变能密度的铜互连导线电迁移应力分析

摘要：

铜互连导线导电后会产生由热扩散主导的电迁移现象,而根据广泛使用的一维电迁移引起的回流模型和原子通量散度的概念,可得到传统的线性应力演化方程.通过在表面晶体材料的表面自由能中计入应变能密度的影响,推导出适合铜导线的非线性应力演化方程.数值求解有界和半无界边界条件下铜导线中的瞬时应力分布.结果表明当考虑应变能密度影响后,导线中的拉应力演变较线性应力演化方程的解更缓趋于稳态,拉应力数值较线性方程应力解更小,而压应力则恰恰相反.同时还讨论了铜条的临界长度效应.计入应变能的影响后,导线内部的应力呈非对称分布,而这种趋势在导线长度减小时更加明显.文中的研究结果将为集成电路设计和铜互连材料的制备提供技术参考.

关键词：电迁移、应变能密度、应力演化、临界长度

所属期刊栏目：38

分类号：O347;O344.1;TG111.6(固体力学)

资助基金：国家自然科学基金;上海市自然科学基金

在线出版日期：2017-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：359-368