参数激励下静电驱动MEMS共振传感器的非线性动力特性研究

摘要：

静电驱动微机电系统(MEMS)共振传感器因其结构简单、应用广泛等优点引起了研究人员广泛的关注,共振传感器件耦合系统在非线性静电力、压膜阻尼、参数激励下呈现出较复杂的非线性振动、不稳定性、分岔与混沌行为.提出参数激励作用下静电驱动微机电系统中梁式微结构共振传感器的动力学模型,采用多尺度方法对微系统的动力学方程进行摄动分析,探讨直流偏置电压、压膜阻尼和交流激励电压幅值对系统频率响应、共振频率的影响规律,结果表明:直流偏置电压和交流电压幅值都具有软化效应,且使共振频率漂移到较小的数值范围,压膜阻尼对共振频率的影响较小,但是增大压膜阻尼会使稳态振幅的峰值明显下降,为静电驱动微机电系统共振传感器的动力学分析与设计提供参考.

关键词：微机电系统、参数激励、静电驱动、共振传感器、压膜阻尼

所属期刊栏目：30

分类号：TP202;TH113(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金项目10602033和10325209;中国博士后基金项目20060400165

在线出版日期：2009-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：44-48