利用纳米硬度试验法确定Cr/Cu梯度材料的变形特性

摘要：

利用纳米硬度仪研究了在Cu基底上的Cu/Cr梯度膜的机械性能.梯度膜是通过将Cu靶和Cr靶同时溅射到Cu基底材料上,但两个靶的相对溅射功率随溅射时间变化而制备.利用Oliver and Pharr方法得到了膜随其厚度变化的硬度和弹性模量.然后利用加载/卸载/再加载的方法得到了在不同深度(即膜的厚度)压头平均压力与相对压入深度之间的关系曲线,在此曲线上可以明显反映出材料的屈服特性.

关键词：铬/铜梯度薄膜、纳米压痕、力学性能、变形

所属期刊栏目：25

分类号：TB301;O346.1(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金10312071

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：382-385