浮动电容式剪应力微传感器结构设计解析模型

摘要：

为提高设计水平和效率,建立了浮动电容式剪应力微传感器结构设计解析模型.该解析模型明晰了微传感器探头结构参数与传感器性能指标之间的关系.针对微传感器量程、固有频率、非线性度、灵敏度和分辨率等指标需求,能够更有针对性地快速得到优化传感器结构方案.结合设计案例,给出了微传感器探头结构的设计方法与流程,设计研制的传感器测试实验结果与解析模型的设计结果相符合.

关键词：电容式、剪应力、结构设计、解析模型、性能指标

所属期刊栏目：31

分类号：TH823

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项2013YQ40911

在线出版日期：2017-07-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：53-59