MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测

摘要：

MEMS热膜式壁面剪应力传感器的输出信号是带有基础电压的微弱电压信号,无法通过放大器直接放大的方法实现高精度测量.文章提出在输出信号放大前增加信号平衡环节,在保留有效信号的前提下减小基础电压,再通过放大的方法实现其高精度测量,有效解决了MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测的难题.文章介绍了MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测的技术方案、关键技术、测试检验及试验应用实例.

关键词：微机电系统、热膜、壁面剪应力、传感器、微弱信号检测

所属期刊栏目：31

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项2013YQ04091107

在线出版日期：2017-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：39-43