MEMS梁膜结构流量传感器设计与实现

摘要：

流量是工业检测重要参数之一.流量检测技术随着微机械电子系统(MEMS)技术的发展与应用,向着小型化、高精度、智能化的方向发展.基于MEMS技术设计了一种梁膜结合的压差式流量传感器结构,分析了其基本工作原理,采用硅微加工工艺对传感器进行了流片加工,然后对封装完成的传感器样机进行了气流和水流静态性能测试.气流测试灵敏度为0.3508mV/(ms-1)2,测试基本精度为0.5885%FS;水流测试灵敏度为415241mV/(ms-1)2,测试基本精度为0.9323%FS.结果表明,所设计传感器具有较高的灵敏度与基本精度,从而能完成流量信号的检测.

关键词：微机电系统、流量、传感器、梁膜结构、微加工

所属期刊栏目：31

分类号：TH814

在线出版日期：2017-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：34-38