微型泵的加工技术及应用

摘要：

微型泵是微流体系统中的重要执行元件,标志着微流体系统的发展水平.详细介绍了微型泵的种类、加工技术、应用前景以及国内在该领域的研究状况.

关键词：微流体系统、微型泵、驱动、流量、DRIE技术

所属期刊栏目：33

分类号：TH137.51;TP271

在线出版日期：2005-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：29-34