高级别洁净室气流组织的优化

摘要：

利用CFD方法对拟采用风机过滤器单元(FFUs)洁净空调方案的ISO5级电子工业洁净室进行模拟,得出室内气流速度场,分析其性能,通过理论公式计算所能达到的洁净度.认为通过合理布置末端FFU送风口位置及选择回风形式,以及选用较高级别的末端过滤器,可以在FFU满布率较低时达到较高的洁净度级别.

关键词：计算流体动力学(CFD)、洁净室、风机过滤器单元、满布率

所属期刊栏目：33

分类号：TU834.8(房屋建筑设备)

在线出版日期：2005-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：59-61,58