Sol-Gel法制备B-N共掺ZnO薄膜及光学性能研究

摘要：

实验将B和不同含量的N元素掺入ZnO薄膜中,利用溶胶-凝胶(Sol-Gel)旋涂工艺分别在玻璃和硅衬底上制备B-N共掺ZnO薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)和光致发光谱(PL)对B-N掺杂样品薄膜的晶体结构、表面形貌及光学性能进行表征.结果表明,B-N共掺后的薄膜样品,与未掺杂样品和B单掺样品薄膜相比,薄膜结构仍为六方纤锌矿相,且沿ZnO(002)衍射峰择优生长.随着N掺杂量的增加,样品的(002)衍射峰的强度先增强再减弱,当N掺杂量为3.0 at％ 时,衍射峰强度最强,更适合薄膜生长.此时c轴取向相对较好,结晶度高,薄膜表面性能最佳,透过率在90％ 左右,禁带宽度达到3.51 eV,紫外发光峰受到抑制.

关键词：B-N共掺、透过率、光致发光、溶胶-凝胶法、ZnO薄膜

所属期刊栏目：44

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：辽宁省教育厅科学技术研究项目LJ2019006

在线出版日期：2021-07-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：183-187