旋涂次数对NiO薄膜结构和光透过性能的影响

摘要：

以乙酸镍为前驱体溶液采用溶胶-凝胶旋涂法按不同旋涂次数(1～5次)在玻璃衬底上制备NiO薄膜.通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外可见分光光度计(U V-V IS)等表征手段对样品的晶格结构、表面形貌、透射光谱进行测试.结果表明旋涂次数的适当增加并不能使薄膜厚度明显增加而是有助于修复所制备薄膜的结晶质量;并且随着旋涂次数的增加晶粒尺寸变大使薄膜的晶界和缺陷增多,增强了薄膜的光散射性能降低了光透过性能.当旋涂次数为3次时,所制备的NiO薄膜的结晶质量较高、表面光滑致密并具有较好的光透过性能,在可见光范围内平均透过率达到80％以上.

关键词：溶胶-凝胶法、NiO薄膜、薄膜结构、表面形貌、光透过性能

所属期刊栏目：40

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：辽宁省教育厅科学研究一般项目L2015292

在线出版日期：2017-10-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：313-317