衬底温度对ZnO:Al薄膜结构和光透过性能的影响
利用超声喷雾热解方法以不同的沉积温度(450~530℃)在石英衬底上制备出具备较高光学质量的ZnO :Al(AZO )薄膜.通过X射线衍射谱(XRD)研究了薄膜的结构,用扫描电子显微镜(SEM )研究了薄膜的表面形貌,用紫外可见(UV )分光光度计对薄膜的光透过特性进行了测试分析.结果表明:所制备薄膜在可见波段具有较高透过率,并且沉积温度对AZO薄膜的结构和光透过性能有很大影响.在衬底温度为470℃时得到的AZO薄膜具有(002)择优取向,结晶质量最好、光透过率最高,在可见光区平均透过率达到85%以上.
AZO薄膜、超声喷雾热解、透过率、薄膜结构
O484.1(固体物理学)
2013-01-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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