10.3969/j.issn.1000-1735.2008.02.011
射频感应耦合等离子体调谐基片自偏压特性的进一步研究
在已有的调谐基片自偏压研究的基础上,进一步研究了基片台空间轴向位置对基片自偏压-调谐电容曲线的影响;研究了基片分支串联电阻对基片自偏压的影响,发现了在电阻值区自偏压自振荡现象;在不同的放电参数下,采用自制诊断工具测量了射频感应耦合等离子体电子温度、电子密度等参量的空间分布.并对基片自偏压相应的实验现象给出了物理模型解释.
射频等离子体、调谐基片自偏压、正反馈
31
O539(等离子体物理学)
国家自然科学基金资助项目10175014
2008-08-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
158-161