射频Langmuir探针制作过程中的干扰问题及解决办法

摘要：

射频Langmuir 探针是诊断射频感应耦合等离子体参数的重要工具.通过给探针添加LC调谐电路,减小了探针尖鞘层射频压降的干扰,得到可以由简单理论处理的I-V特性曲线;通过控制扫描电压大小对探针尖进行加热或溅射,解决了探针尖污染和测量结果不能重复的问题,找到恰当的测量扫描电压.

关键词：射频Langmuir探针、射频压降、LC调谐电路、I-V特性曲线

所属期刊栏目：29

分类号：O536(等离子体物理学)

在线出版日期：2006-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：166-167