新型电容传感器结构的设计

摘要：

提出了一种采用变间距差动式电容结构设计的电容压力传感器,并详细讨论了弹性体厚度的理论计算和版图的设计.此种传感器是用来测量近海海水深度和浪高,并由此得到潮汐的变化的.这种差动式结构是利用压力作用在可动电极上,在微机械加工的过程中,采用某种连接,大大提高了传感器的灵敏度和测量精度.

关键词：电容传感器、微机械加工、弹性体、灵敏度

所属期刊栏目：23

分类号：TM934.2;TN702

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：272-274