ZnO基透明导电薄膜制备方法研究进展

摘要：

ZnO基透明导电薄膜与掺锡氧化铟薄膜(ITO)相比,不仅性能与其相似,还具有ITO很多无法比拟的优点.因此,制备ZnO基透明导电薄膜成为当今研究热点.综述了ZnO基透明导电薄膜制备方法的研究进展,并对各自的优缺点进行了讨论.

关键词：透明导电薄膜、ZnO、制备方法、电阻率、透射率.

所属期刊栏目：34

分类号：TN304.055(半导体技术)

资助基金：辽宁大学科研启动基金408041

在线出版日期：2008-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：334-338