蒙特卡罗方法模拟PVD薄膜生长的研究进展(综述)

摘要：

综述了蒙特卡罗方法模拟物理气相沉积薄膜生长的研究进展.特别对基底的表面形貌、结构缺陷、沉积温度等因素对薄膜生长影响的蒙特卡罗方法模拟的研究进展进行了分析和归纳.最后对蒙特卡罗方法模拟薄膜生长的研究进行了展望.

关键词：蒙特卡罗方法、模拟、薄膜生长、基底

所属期刊栏目：34

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：辽宁大学科研启动基金408041

在线出版日期：2007-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：120-123