20V/10A UDMOSFET的研制

摘要：

简要介绍了UDMOSFET的结构和工作原理,给出了UDMOSFET的制造工艺,重点讨论工艺难点,对测试结果进行了详细分析.

关键词：UDMOSFET、沟槽、腐蚀

所属期刊栏目：33

分类号：TN386.1(半导体技术)

资助基金：辽宁省沈阳市科技局资助项目1032029-2-06

在线出版日期：2006-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：305-308