PERKIN-ELMER 340光刻机的匹配研究

摘要：

叙述了340光刻机发生畸变的原因,并解释了什么是交叉畸变,什么是扫描畸变,并对如何进行两台340光刻机的匹配进行了探讨.最后给出了试验数据.

关键词：扫描畸变、交叉畸变、匹配

所属期刊栏目：32

分类号：TN312(半导体技术)

资助基金：辽宁省科技厅资助项目002021;辽宁省教育厅资助项目20021076

在线出版日期：2005-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：348-349