多孔薄膜中杂质浓度分布的理论分析

摘要：

论述了杂质渗入到多孔薄膜后,薄膜中的杂质浓度分布的理论解释,给出了对实际工艺的指导性结论.

关键词：杂质、薄膜、浓度分布

所属期刊栏目：30

分类号：O483(固体物理学)

在线出版日期：2003-12-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：123-126