椭偏光谱测量匀质膜光学特性的计算分析

摘要：

应用椭偏光谱法,测量透明膜和吸收膜的折射率、厚度及消光系数.利用Delphi语言编程对实验数据进行处理,其结果与已正式出版的椭偏测厚数据表进行对比,各测量点绝对误差为0.01nm,该程序适用于椭偏光谱仪对各种匀质膜测量的数据处理.

关键词：椭圆偏振光谱仪、薄膜测厚、程序设计、数据处理

所属期刊栏目：30

分类号：O436.3(光学)

在线出版日期：2003-12-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：119-122