基于扫描探针显微术研究Pb(Zr,Ti)O3铁电薄膜的电学性质

摘要：

首先利用脉冲激光沉积技术在(001)取向的SrTiO3基片上外延生长了SrRuO3底电极和PbZr0.20Ti0.80O3 (PZT)薄膜,然后利用扫描探针显微镜的压电响应模式(PFM)和导电测试模式(C-AFM)表征了PbZr0.20Ti0.80O3/SrRuO3/ SrTiO3异质结薄膜纳米尺度的电学性质.以镀铂探针为上电极,利用压电响应模式获得了复合薄膜纳米尺度的压电位移-电压蝶形曲线和压电相位-电压滞后曲线,表明样品具有良好的铁电性.薄膜纳米尺度下的Ⅰ-Ⅴ测试结果表明经+10 V电压极化后的样品,其I-Ⅴ曲线在矫顽场附近出现峰值,与宏观Ⅰ-Ⅴ测试结果类似.导电原子力和压电力测试结果证明C-AFM可以检测到PZT薄膜样品的瞬时极化反转电流并进行成像.

关键词：扫描探针显微镜、Pb(Zr、Ti)O3铁电薄膜、铁电畴、导电性

所属期刊栏目：51

分类号：TB321(工程材料学)

资助基金：中国科学院设备功能开发技术创新资助项目

在线出版日期：2015-09-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：560-563,577