分析室真空度对原子探针测试数据质量的影响

摘要：

根据三维原子探针的工作原理,分析了样品分析室内真空度对测试数据质量的影响,并对核反应堆压力壳钢样品进行了试验分析.结果表明:分析室内的真空度与获得试验数据的背底呈明显的线性相关关系,真空度越高,数据的背底越低;当数据背底高时,在成分分析过程中会引入较大的分析误差,且元素的含量越低,其分析误差越大,尤其当元素原子分数低于0.05％时,其分析误差会达100％以上.因此,稳定维持分析室的超高真空,对于获得高质量的试验数据至关重要.

关键词：原子探针层析、背底、分析室真空度、成分分析

所属期刊栏目：51

分类号：TH87

资助基金：国家自然科学基金资助项目51301103

在线出版日期：2015-09-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：555-559