一种高成功率的薄膜截面TEM样品制备方法
截面样品的制备是采用透射电镜(TEM)观察薄膜微结构的关键之一,该文分析了采用离子减薄法制备薄膜截面TEM样品成功率低的原因,并对原有方法进行了改进,提出了一种粘贴优半圆环遮挡单边离子束,防止待观察薄膜被正面轰击的薄膜截面TEM样品制备方法,该方法不仅操作简便,而且可大大提高制样成功率.
薄膜、TEM、截面样品、样品制备
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TG115.22+1.2(金属学与热处理)
国家自然科学基金青年基金资助项目51401120;上海市大学生创新活动计划资助项目2013scx30
2016-06-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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