分析薄膜厚度与成分的卢瑟福背散射技术

摘要：

对卢瑟福背散射分析技术的基本原理、试验设备、样品要求及数据处理方法进行了介绍,并举例分析了硅衬底上钛膜厚度的测定,以及钼衬底上钛钼合金膜的实际组分以及氦离子注入杂质的分布范围和实际剂量测定.讨论了卢瑟福背散射技术的发展和应用,介绍了弹性反冲、高能非卢瑟福散射和沟道技术三种分析方法.

关键词：卢瑟福背散射、金属薄膜、厚度、合金成分

所属期刊栏目：46

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：中国石油大学华东自主创新科研计划项目09CX04067A

在线出版日期：2010-10-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：436-440