10.3969/j.issn.1001-4012.2004.09.007
高性能聚焦离子束技术的应用
叙述了采用液态镓作为离子源的高性能聚焦离子束系统(FIB)在材料科学研究领域中的作用.该系统有三大用途:形貌观察;分辨率高达5nm;微刻蚀以及微沉淀.详细地介绍了利用FIB进行形貌观察、制备TEM样品和表面刻蚀的过程及实验结果.
聚焦离子束(FIB)、透射电子显微分析(TEM)、二次离子像(SIM)、样品制备
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TG115.2(金属学与热处理)
2004-10-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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