薄膜几种重要力学性能的评价

摘要：

提出了一种利用X射线应力分析技术和应变电测法测量附着膜的等效应力--等效单轴应变、屈服强度和加工硬化指数的方法.利用该方法测得一种厚度为2.5μm的TiN膜的条屈服点σ0.1和σ0.2分别等于4.2GPa和4.4GPa,加工硬化指数n为0.36;对于一种厚度为2.4μm的铜膜,得到σ0.1=328MPa,σ0.2=415MPa,n=0.62.利用无应变剥层技术逐层剥离薄膜,同时测量基片曲率半径的变化,由此测得了一种厚度为2.3μm的TiN膜的残余应力沿层深分布.用新建立的一种利用X射线应力分析法测量薄膜泊松比的技术,测出一种TiN膜的泊松比等于0.27.给出了测量陶瓷膜的杨氏模量的设想.

关键词：薄膜、屈服强度、加工硬化指数、残余应力、泊松比、杨氏模量

所属期刊栏目：39

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金59931010,50272067

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：441-446